光发射模块、光检测模块、光学拾取设备及其制造方法

摘要

本发明公开了一种光发射模块、光检测模块、把超小的光发射模块和光检测模块连接在一起形成的光拾取设备以及其制造方法。最后，采用超小化技术，适合大规模生产的微机械技术以及半导体装配制造过程，由此减小元件费用并且增加元件的一致性。

主权项

1.一种光检测模块，包括：一个硅衬底，其上在中间部分形成空腔；一个孔隔膜，其在硅衬底的空腔上形成，并设置有用于通过光的光孔；以及一个光电二极管阵列，其在硅衬底的上表面上形成，用来接收从光源发射的光以及从光盘上反射回来的光信号，并将其转换成用于检测的电信号。