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发明名称 Process for manufacturing micromechanical and microoptomechanical structures with pre-applied patterning
摘要
申请公布号 EP1213260(A3) 申请公布日期 2004.06.16
申请号 EP20010128169 申请日期 2001.11.27
申请人 MICROSCAN SYSTEMS INCORPORATED;XEROX CORPORATION 发明人 SCHARF, BRUCE R.;GULVIN, PETER M.;CHEN, JINGKUANG;KUBBY, JOEL A.;LIN, CHUANG-CHIA;TRAN, ALEX T.
分类号 B81C1/00;B81B3/00;H01L21/762;H01L27/14;(IPC1-7):B81B3/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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