清洗设备

摘要

一种清洗设备，适于清洗至少一玻璃基板，此清洗设备主要具有一清洗室，并于清洗室内配置多个主动滚轮以及多个平衡用喷嘴。其中，多个主动滚轮依序排列成一直线可供玻璃基板的侧边承靠，而多个平衡用喷嘴适于喷射一流体于玻璃基板的表面，用以平衡此玻璃基板。通过上述结构可达到垂直传送玻璃基板的目的。

主权项

1、一种清洗设备，适于清洗至少一玻璃基板，其特征在于：该清洗设备包括：一清洗室，具有至少一输入端及至少一输出端，且该清洗室包括一清洗区域；一第一玻璃转向装置，配置于该清洗室的该输入端处；复数个主动滚轮，配置于该清洗室中，且每一该些主动滚轮上具有一承靠面，该承靠面适于承靠该玻璃基板的侧边；复数个平衡用喷嘴，配置于该些主动滚轮的上方，且对应分布于该些主动滚轮所承靠的该玻璃基板的两侧，该些平衡用喷嘴适于喷射一流体于该玻璃基板的表面，用以平衡该玻璃基板；一清洗装置，配置于该清洗室的该清洗区域中；一第二玻璃转向装置，配置于该清洗室的该输出端处。