双片型单向液体微泵及其制造方法

摘要

一种双片型单向液体微泵及其制造方法，所述的微泵由阳极氧化电压切换技术和单晶硅薄膜转移技术制造，阳极氧化电压切换技术的加工区域是多次相互交叠的，单晶硅薄膜转移技术采用SOI硅片实现单晶硅薄膜转移。利用此技术制造的微泵所占的有效空间体积及其泵腔体死空间最小，利用此技术能够使微泵、微阀和微沟道网络同步制造，使新设计的硅膜微泵结构便于在片上型微流体系统中应用。

主权项

1、一种双片型单向液体微泵，其特征在于：所述的微泵由上腔体、下腔体、上腔体进口阀、上腔体出口阀、下腔体进口阀、下腔体出口阀、入口处的上下硅片链接口、出口处的上下硅片链接口、入口微沟道和出口微沟道以及静电驱动电容构成，所述的下腔体上方设置有上腔体，所述的上腔体和下腔体分别设置在两块硅片的近表面体硅，所述微泵的上腔体、下腔体分别设置有进口微阀、出口微阀，所述的上、下腔体分别由复合腔体膜、腔体空间和衬底构成，所述的复合腔体由形变膜、绝缘介质膜和金属电极构成，所述的形变膜设置在腔体上，所述的静电驱动电容由金属电极与气隙构成，所述的金属电极设置在上腔体和下腔体上。