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发明名称 Method of electroless deposition of thin metal and dielectric films with temperature controlled on stages of film growth
摘要
申请公布号 AU2003294308(A8) 申请公布日期 2004.06.15
申请号 AU20030294308 申请日期 2003.11.18
申请人 BLUE29 CORPORATION 发明人 IGOR C. IVANOV
分类号 C23C18/16;H01L21/288;(IPC1-7):H01L21/44 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
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