| 主权项 |
1.一种含有氟化合物及/或CO的废气之处理方法,该方法包括:去除废气中之粉末状成分、水溶性成分及/或水解性成分;接着添加O2及H2O至该废气;再将废气加热,以分解或氧化该废气中的氟化合物及/或CO;以及去除因废气被分解或氧化而使得氟化合物被分解时所产生的酸性气体。2.如申请专利范围第1项之方法,其中,复包括以催化反应分解该废气。3.如申请专利范围第1项之方法,其中,该粉末状成分、该水溶性成分及/或该水解性成分系藉由吸收剂吸收或气体-液体接触而自废气去除。4.如申请专利范围第1项之方法,其中,该酸性气体系藉由吸收剂吸收或气体-液体接触而自废气去除。5.如申请专利范围第1项之方法,其中,该加热步骤包括于700至900℃的温度范围内加热该废气。6.一种含有氟化合物及/或CO的废气之处理方法,该方法包括:将O2及H2O添加至该废气;以及使该废气加热至700至900℃的温度范围内,以去除废气中之CO、具有四个或更多碳原子之氟化合物、氢氟化碳及/或NF3的毒性。7.一种含有氟化合物及/或CO的废气之处理装置,该装置包括:第一处理区段,系用于去除废气中之粉末状成分、水溶性成分及或水解性成分;加热氧化分解区段,系用于使该氟化合物及/或CO进行加热氧化分解,以去除该废气的毒性;O2输送器,系用以输送O2至该加热氧化分解区段;H2O输送器,系用以输送H2O至该加热氧化分解区段;以及第二处理区段,系用于去除加热氧化分解后,存于废气中之酸性气体。8.如申请专利范围第7项之装置,其中,复包括催化反应区段,以藉由催化反应分解该废气。图式简单说明:第1图为显示依据本发明第一具体实例之废气处理装置的方块图;第2图为显示依据本发明第二具体实例之废气处理装置的方块图;第3图为显示依据本发明第三具体实例之废气处理装置的方块图;及第4图为第1.2.或3图所示之废气处理装置的透视图。 |
