主权项 |
1.一种清洗垂直式炉管的设备,包括:一溢流槽,其中待清洗之一垂直式炉管系放置在该溢流槽内;以及一清洗液供应装置,配置在该垂直式炉管之底部处,用以对该垂直式炉管之内部喷洒一清洗液,其中,该清洗液喷洒至该垂直式炉管之后,会流下来至该溢流槽内,而使该垂直式炉管之底部浸泡在该清洗液中。2.如申请专利范围第1项所述之清洗垂直式炉管的设备,其中该溢流槽之底部更包括形成有至少一排出孔。3.如申请专利范围第2项所述之清洗垂直式炉管的设备,其中该排出孔系为可调节排出流量之排出孔。4.如申请专利范围第1项所述之清洗垂直式炉管的设备,更包括一隔离腔室,而该垂直式炉管、该溢流槽以及该清洗液供应装置都设置在该隔离腔室中。5.如申请专利范围第1项所述之清洗垂直式炉管的设备,其中该垂直式炉管系为一垂直式石英炉管。6.一种清洗垂直式炉管的方法,包括:将一垂直式炉管系放置在一溢流槽内;以及由该垂直式炉管之底部喷洒一清洗液至该垂直式炉管内部,且从该垂直式炉管内流下来的该清洗液会流至该溢流槽内,而使该垂直式炉管之底部浸泡在该清洗液中。7.如申请专利范围第6项所述之清洗垂直式炉管的方法,更包括在该溢流槽之底部设置至少一排出孔,以控制该溢流槽内之该清洗液的量。8.如申请专利范围第6项所述之清洗垂直式炉管的方法,其中清洗该垂直式炉管之步骤是在一隔离腔室中进行。图式简单说明:第1图是习知的清洗垂直式炉管的设备之剖面图。第2图是本发明一较佳实施例的一种清洗垂直式炉管的设备之剖面图。 |