| 主权项 |
1.一种可量测五自由度讯号系统,包括: 一雷射二极体,系提供雷射光束入射至后述之反射 镜; 一反射镜,系接收雷射光束反射至后述之光栅; 一反射式光栅,系藉由雷射光束入射后,该光栅会 利用光的绕射现象产生两道正负一阶绕射光,并将 两道正负一阶绕射光反射至后述之半反射镜; 二半反射镜,系接收一阶绕射光后,会分光产生一 反射光与一穿透光; 二雷射四象仪,系接收半反射镜分光射出之穿透光 ,获得的四个位置变化以求解另一组垂直光栅面方 向之自由度位移量与绕三轴旋转角度之三自由度 变化量; 一干涉镜,系接收半反射镜分光射出之反射光,使 两道正负一阶反射光叠加形成一干涉光; 一透镜组,系接收并调整干涉镜射出之干涉光条纹 大小,使干涉光条纹与后述之光电二极体阵列的几 何形状相配合;以及 一光电二极体阵列,系由多个光电二极体组成,能 接收透镜组输出之干涉光条纹的讯号相位变化。2 .如申请专利范围第1项所述之可量测五自由度讯 号系统,其中该雷射二极体可采用单频雷射光应用 于绝对距离量测。3.如申请专利范围第1项所述之 可量测五自由度讯号系统,其申该雷射二极体可采 用双频雷射光应用于绝对距离量测。4.如申请专 利范围第1项所述之可量测五自由度讯号系统,其 中该雷射二极体可采用线性调频半导体雷射光应 用于绝对距离量测。5.如申请专利范围第1项所述 之可量测五自由度讯号系统,其中该半反射镜系可 采用一具有不同反射率与穿透率之偏光镜。6.一 种可量测五自由度讯号系统,包括: 一雷射二极体,系提供雷射光束入射至后述之反射 镜; 一反射镜,系接收雷射光束反射至后述之光栅; 一穿透式光栅,于雷射光束入射并穿透过光栅后, 该光栅会利用光的绕射现象产生两道正负一阶绕 射光,并将两道正负一阶绕射光入射至后述之半反 射镜; 二半反射镜,系接收一阶绕射光后,会分光产生一 反射光与一穿透光; 二雷射四象仪,系接收半反射镜分光射出之穿透光 ,获得的四个位置变化以求解另一组垂直光栅面方 向之自由度位移量与绕三轴旋转角度之三自由度 变化量; 一干涉镜,系接收半反射镜分光射出之反射光,使 两道正负一阶反射光叠加形成一干涉光; 一透镜组,系接收并调整干涉镜射出之干涉光条纹 大小,使干涉光条纹与后述之光电二极体阵列的几 何形状相配合;以及 一光电二极体阵列,系由多个光电二极体组成,能 接收透镜组输出之干涉光条纹的讯号相位变化。7 .如申请专利范围第6项所述之可量测五自由度讯 号系统,其中该雷射二极体可采用单频雷射光应用 于绝对距离量测。8.如申请专利范围第6项所述之 可量测五自由度讯号系统,其中该雷射二极体可采 用双频雷射光应用于绝对距离量测。9.如申请专 利范围第6项所述之可量测五自由度讯号系统,其 中该雷射二极体可采用线性调频半导体雷射光应 用于绝对距离量测。10.如申请专利范围第6项所述 之可量测五自由度讯号系统,其中该半反射镜系可 采用一具有不同反射率与穿透率之偏光镜。图式 简单说明: 图一为本发明可量测五自由度讯号系统之反射式 光栅量测系统之示意图; 图二为该可测量五自由度讯号系统之穿透式光栅 量测系统之示意图;以及 图三为该可量测五自由度讯号系统之流程图。 |
