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发明名称 Chemisch verstärkte Resistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69726542(T2) 申请公布日期 2004.06.09
申请号 DE19976026542T 申请日期 1997.10.11
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YOOL, KANG;SANG-JUN, CHOI;DONG-WON, JUNG;CHUN-GEUN, PARK;YOUNG-BUM, KOH
分类号 C08F220/10;C08F222/06;C08F232/00;C08F232/08;C08K5/03;C08K5/375;C08L33/04;C08L35/00;C08L45/00;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 C08F220/10
代理机构 代理人
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