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发明名称 Herstellungsverfahren von spannungsarmen Polyzidleitern über einen Halbleiterchip
摘要
申请公布号 DE69632375(D1) 申请公布日期 2004.06.09
申请号 DE19966032375 申请日期 1996.10.21
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 STAMPER, ANTHONY KENDALL;LEBEL, RICHARD JOHN;LANGDEAU, GARY LIONEL
分类号 H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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