| 发明名称 | 传送式基板处理装置 | ||
| 摘要 | 即使在基板(10)通过药液避开部(30)的出口的阶段起，下游侧的药液处理部开始进行药液喷出操作的情况下，也可以防止上游侧接受部中的药液污染。为了实现它，使药液避开部(30)的总长度(L1)比基板(10)的长度(L2)大，并在药液避开部(30)的基板入口和出口处设置快门(34a、34b)。将药液避开部(30)内部通过至少一个隔壁(32a、32b)沿基板传送方向区分成多个室(33a、33b、33c)，除了药液避开部(30)内最上游侧的室(33a)以外，将至少一个室(33b)抽至负压。将药液避开部(30)中的最上游侧的室(33a)控制到常压或正压。设定隔壁位置，使得在基板(10)的前端到达下游侧的药液处理部中的药液喷出开始位置时，基板(10)的后端可拔出药液避开部(30)中的最上游侧的室(33a)。药液避开部(30)中的最上游侧的室(33a)被始终维持清洁的气氛，在与药液避开部(30)的上游侧连接的部分形成始终清洁的区域。 | ||
| 申请公布号 | CN1503758A | 申请公布日期 | 2004.06.09 |
| 申请号 | CN02808277.X | 申请日期 | 2002.02.04 |
| 申请人 | 住友精密工业株式会社 | 发明人 | 田内仁;小泉晴彦 |
| 分类号 | B65G49/00;B65G49/06;H01L21/68;H01L21/306;G02F1/13 | 主分类号 | B65G49/00 |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 1.一种传送式基板处理装置，将基板沿水平方向传送并通过多个处理部，用多个处理部的至少一个处理部进行药液处理，同时在药液处理部的上游侧设置药液避开部，其特征在于，设置排气机构，将所述药液避开部内部通过至少一个隔壁在基板传送方向上区分成多个室，除了所述药液避开部内的最上游侧的室内以外，将至少一个室内抽到负压。 | ||
| 地址 | 日本国兵库县 | ||