| 发明名称 | 可变效率的法拉第屏蔽 | ||
| 摘要 | 一种用于等离子体反应器(930)的法拉第屏蔽(300)具有可变的屏蔽效率。该屏蔽(300)被分成许多可以单独选择接地或非接地的屏蔽片段(320)。完全非接地和完全接地状态之间转变的速率是可控的，从而在转变过程中保持等离子反应器(930)中稳定的等离子环境。一旦完成等离子体撞击，或使其能够受制于之前屏蔽设置的成功匹配，屏蔽效率改变的时间速率就可控制在预定的速率。当法拉第屏蔽(320)完全接地时，通过降低室表面的溅射率从而降低了晶片上和室表面上的污染量。 | ||
| 申请公布号 | CN1503856A | 申请公布日期 | 2004.06.09 |
| 申请号 | CN02808264.8 | 申请日期 | 2002.03.13 |
| 申请人 | 应用材料有限公司 | 发明人 | M·F·戴维斯;F·胡施达郎 |
| 分类号 | C23C16/00;C23F1/02 | 主分类号 | C23C16/00 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 1.一种以可变效率提供电屏蔽的屏蔽，该屏蔽包括：一个共用节点；一个整体屏蔽元件；和一个在共用节点和屏蔽片段之间连接的可变阻抗元件。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||