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发明名称 METHOD FOR THE PRODUCTION OF III-V- NITRIDE-CONDUCTOR-BASED SEMICONDUCTOR LAYERS
摘要
申请公布号 EP1425784(A1) 申请公布日期 2004.06.09
申请号 EP20020760146 申请日期 2002.09.02
申请人 OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH 发明人 LUGAUER, HANS-JUERGEN;BADER, STEFAN
分类号 H01L21/205;C23C16/04;C23C16/30;C30B25/02;H01L21/033;H01L21/20;H01L33/00;(IPC1-7):H01L21/20;C30B29/40 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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