具有温度补偿的传感器

摘要

一种电容压力传感器(110)包含导电膜(140)和热补偿元件，后者具有和压力传感器内其它元件不同的热膨胀系数。

主权项

1.一种电容压力传感器，包括第一凹面壳体部件围绕中心轴线延伸并具有安置在第一平面上的外围缘边，所述第一平面基本上垂直于所述中心轴线，所述第一凹面壳体部件具有第一热膨胀系数；具有导电性的、可替换部分的膜，所述膜的外围部分固定地接合到所述第一凹面壳体部件的外围缘边上，借此至少所述膜的一部分是基本上安置在所述第一平面上，并且和所述第一壳体部件组成了第一腔室；电极，安置在所述第一腔室中并且以距所述第一平面的预定距离接近膜的导电部分，所述电极具有第二热膨胀系数；和热补偿装置，接合在所述第一凹面壳体部件和所述电极中的至少一个上，以补偿温度引起的所述传感器的特性的变化，所述热补偿装置的热膨胀系数与所述第一壳体部件和所述电极中的所述被接合的一个的热膨胀系数有相当大差距。