压电陶瓷、促动器及其制造方法、印刷头及喷墨打印机

摘要

本发明提供一种压电陶瓷，其厚度在100μm以下，表面的平坦度在20μm以下，在2mm×2mm的任意的表面范围内的表面的凹凸的最大值在3μm以下，并且介电常数的面内偏差在平均介电常数的5％以下。此压电陶瓷由于平坦度很小，并且压电常数的面内偏差很小，因此可以适用于在印刷头等中所用的促动器中。

主权项

1.一种压电陶瓷，其厚度为100μm以下，表面的平坦度为20μm以下，表面的凹凸的最大值为3μm以下，介电常数的面内偏差为平均介电常数的5％以下。