预知离子源中灯丝寿命的方法和离子源装置

摘要

一种离子源装置，包括：具有用于发射热电子的灯丝的离子源；用于测量流过该灯丝的电流的电流测量装置；用于测量灯丝上的电压的电压测量装置；用于通过使用由所述电流和电压测量装置测量的电流和电压来计算灯丝电阻值的电阻运算装置；和用于计算直到灯丝应用极限为止时的时间或者直到灯丝应用极限为止时剩余的时间的预知运算装置。

主权项

1.一种用于预知在离子源中用于发射热电子的灯丝寿命的方法，该方法包括：在离子源工作期间，基于流过灯丝的电流和灯丝上的电压，而连续地测量灯丝的电阻值；和基于该电阻值的变化率，而预知直到灯丝要断路时的灯丝的寿命。