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发明名称 Ionendosis-Messgerät für einen Ionenstrahl-Implantierungsgerät und Verfahren
摘要
申请公布号 DE69916930(D1) 申请公布日期 2004.06.09
申请号 DE19996016930 申请日期 1999.06.03
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 HALLING, ALFRED MIKE;KRULL, WADE ALLEN
分类号 H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/425;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
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