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发明名称 GERÄT UND METHODE ZUR AUFARBEITUNG VON FOTORESIST-ENTWICKLERN UND -ENTSCHICHTERN
摘要
申请公布号 DE69728992(D1) 申请公布日期 2004.06.09
申请号 DE19976028992 申请日期 1997.10.21
申请人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH 发明人 JABLONSKY, JAMES
分类号 B44C1/22;B05C11/10;G03F7/30;G03F7/42;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):B44C1/22 主分类号 B44C1/22
代理机构 代理人
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