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发明名称 Method of forming interlayer insulating film
摘要
申请公布号 EP1050599(B1) 申请公布日期 2004.06.09
申请号 EP20000117095 申请日期 1997.08.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 SUGAHARA, GAKU;AOI, NOBUO;ARAI, KOJI;SAWADA, KAZUYUKI
分类号 H01L21/312;C23C16/26;C23C16/30;C23C16/40;H01L21/3105;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
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