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发明名称
FIELD-ENHANCED DIFFUSION USING OPTICAL ACTIVATION
摘要
申请公布号
EP0784865(B1)
申请公布日期
2004.06.09
申请号
EP19950935183
申请日期
1995.09.26
申请人
RHOMBIC CORPORATION
发明人
POPOVICI, GALINA;PRELAS, MARK, A.;SUNG, TALM;KHASAWINAH, S.
分类号
H01J9/02;H01L21/04;H01L21/22;H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/225
主分类号
H01J9/02
代理机构
代理人
主权项
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