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发明名称 In einem Rastermodus abtastende Vorrichtung mit einer Kompensation des Störeinflusses von mechanischen Schwingungen auf den Abtastvorgang
摘要
申请公布号 DE59811323(D1) 申请公布日期 2004.06.09
申请号 DE19985011323 申请日期 1998.11.21
申请人 HEILAND, PETER 发明人 HEILAND, PETER
分类号 G01B7/34;G01N27/00;H01J37/02;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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