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发明名称 METHOD OF FABRICATING A GATE STACK AT LOW TEMPERATURE
摘要
申请公布号 EP1425785(A2) 申请公布日期 2004.06.09
申请号 EP20020798410 申请日期 2002.08.26
申请人 ASM INC;ASM MICROCHEMISTRY OY 发明人 HAUKKA SUVI P;SHERO ERIC;POMAREDE CHRITOPHE F;HUBERT MAES JAN WILLEM;TUOMINEN MARKO
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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