发明名称 |
用于增强轨道设计和执行的方法、系统和计算机程序产品 |
摘要 |
一种方法、系统和计算机程序产品,用于非实时的轨道设计和实时的轨道执行。一个轨道设计过程接收由高级控制软件产生的数据。所述数据定义了位置和扫描速度,其中多轴移动必须被精确同步。轨道设计过程生成一系列恒定加速度的间隔,其允许用最大的处理能力来执行临界移动。轨道设计过程的输出是一个轨线。一个轨线执行器使用轨道设计器过程输出的轨线,生成连续的、同步的、滤波过的多轴位置和加速指令(即执行数据),以驱动控制伺服系统。轨道设计器产生的所有时间间隔被量化为一个实时时钟周期的整数倍。轨道设计器的输出具有无限大的冲击,但被轨线执行器中的滤波器加以平滑,从而限制了冲击并且最小化伺服-跟踪误差。轨道设计器允许轨线执行器滤波的时间,但并不限制这些滤波器的形状的精微调谐,如果被调谐滤波器的宽度不超过所允许的时间的话。 |
申请公布号 |
CN1503093A |
申请公布日期 |
2004.06.09 |
申请号 |
CN200310118004.1 |
申请日期 |
2003.11.20 |
申请人 |
ASML控股股份有限公司 |
发明人 |
丹尼尔·加尔布特;托德·J·贝德纳雷克 |
分类号 |
G05B19/18;G05B19/19 |
主分类号 |
G05B19/18 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
马浩 |
主权项 |
1.一种控制一个伺服驱动照相平板印刷工具的一个部件的移动的方法,包括:(a)接收关于所需的扫描起点和终点、距离和速度的初始控制数据;(b)根据所述的初始控制数据设计所述部件的一个无限大冲击的多轴轨道;(c)根据所设计的轨道实时地进行一个轨线执行,其中所述轨道是使用数字滤波形成的;(d)向一个控制系统输出执行数据,执行数据包括所述部件的位置和加速度。 |
地址 |
荷兰费尔德霍芬 |