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发明名称 Beleuchtungssystem und Belichtungsapparat
摘要
申请公布号 DE69724333(T2) 申请公布日期 2004.06.09
申请号 DE1997624333T 申请日期 1997.06.02
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MIZOUCHI, SATORU
分类号 F21V5/00;F21V5/04;G02B13/00;G02B19/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B19/00 主分类号 F21V5/00
代理机构 代理人
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