| 发明名称 |
CHEMICALLY AMPLIFIED POLYMER HAVING PENDANT GROUP WITH CYCLODODECYL AND RESIST COMPOSITION COMPRISING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002357535(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.07 |
| 申请号 |
AU20020357535 |
申请日期 |
2002.11.18 |
| 申请人 |
DONGJIN SEMICHEM CO., LTD. |
发明人 |
JUNG-WOO KIM;DEOG-BAE KIM;JAE-HYUN KIM;YUN-HYI KIM |
| 分类号 |
C07C69/533;C07C67/14;C07C67/347;C07C69/54;C07C69/753;C08F20/18;G03F7/039;(IPC1-7):C07C69/533;C07C67/03;C08F220/00 |
主分类号 |
C07C69/533 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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