发明名称 SEMICONDUCTOR SURFACE TREATMENT AND MIXTURE USED THEREIN
摘要
申请公布号 AU2003276094(A1) 申请公布日期 2004.06.07
申请号 AU20030276094 申请日期 2003.10.10
申请人 MERCK PATENT GMBH 发明人 MARC BORNER;GERNOD KILIAN;RUDOLF RHEIN;LUCIA ARNOLD;MICHAEL SCHUSTER;ALEXANDER LEOPOLD
分类号 C11D3/39;C11D7/06;C11D7/32;C11D11/00;H01L21/306;(IPC1-7):C11D7/06 主分类号 C11D3/39
代理机构 代理人
主权项
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