发明名称 Energy filter image generator for electrically charged particles and the use thereof
摘要
申请公布号 AU2003283349(A8) 申请公布日期 2004.06.07
申请号 AU20030283349 申请日期 2003.11.04
申请人 FOCUS GMBH GER?TE ZUR ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE UND OBERFL?CHENANALYTIK;OMICRON NANO TECHNOLOGY GMBH 发明人 DIETMAR FUNNEMANN;MATTHIAS ESCHER
分类号 H01J37/05;H01J37/295;H01J49/48;(IPC1-7):H01J37/00 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
主权项
地址