| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESS TANK WITH ACOUSTICAL SOURCE TRANSMISSION AND METHOD OF PROCESSING SUBSTRATES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003286798(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.07 |
| 申请号 |
AU20030286798 |
申请日期 |
2003.10.31 |
| 申请人 |
AKRION LLC |
发明人 |
JOHN KORBLER;XUECANG GENG |
| 分类号 |
B08B3/00;B08B3/10;B08B3/12;B08B7/00;B08B7/02;B65D;H01L21/00;H01L41/08;H04R25/00 |
主分类号 |
B08B3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
