| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR TREATING OBJECTS WITH RADICALS GENERATED FROM PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003295391(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.07 |
| 申请号 |
AU20030295391 |
申请日期 |
2003.11.04 |
| 申请人 |
GADGIL, PRASAD, N. |
发明人 |
PRASAD, N. GADGIL;SHMUEL EREZ;MING LI |
| 分类号 |
B01J19/08;C23C16/00;C30B25/00;C30B28/12;C30B28/14;H01J37/32;H01L;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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