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发明名称
摘要
申请公布号	JP3535394(B2)	申请公布日期	2004.06.07
申请号	JP19980305000	申请日期	1998.10.27
申请人		发明人
分类号	H01J37/147;H01L21/66;H03M1/68;(IPC1-7):H03M1/68	主分类号	H01J37/147
代理机构		代理人
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