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发明名称
摘要
申请公布号	JP3534929(B2)	申请公布日期	2004.06.07
申请号	JP19950347296	申请日期	1995.12.14
申请人		发明人
分类号	H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/302	主分类号	H01L21/285
代理机构		代理人
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