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发明名称 AN INTEGRATED STRUCTURE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要
申请公布号 AU2003301975(A1) 申请公布日期 2004.06.03
申请号 AU20030301975 申请日期 2003.11.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BERNHARD POGGE;MICHEL DESPONT;UTE DRECHSLER;CHANDRIKA PRASAD;PETER VETTIGER;ROY YU
分类号 B81C3/00;H01L21/768;(IPC1-7):B81C3/00 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
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