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发明名称 Verfahren zum chemisch mechanischen Polieren von einer leitfähigen Aluminum- oder Aluminiumlegierungschicht
摘要
申请公布号 DE60003591(T2) 申请公布日期 2004.06.03
申请号 DE20006003591T 申请日期 2000.02.16
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN 发明人 JACQUINOT, ERIC;LETOURNEAU, PASCAL;RIVOIRE, MAURICE
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):C09K3/14 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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