| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer SCHICHTSTRUKTUR MIT EINER SILICID-SCHICHT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE59611000(D1) |
申请公布日期 |
2004.06.03 |
| 申请号 |
DE19965011000 |
申请日期 |
1996.02.01 |
| 申请人 |
FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH |
发明人 |
MANTL, SIEGFRIED |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/321;H01L21/74;(IPC1-7):H01L21/74 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
