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发明名称 FLUORINATED SURFACTANTS FOR AQUEOUS ACID ETCH SOLUTIONS
摘要
申请公布号 AU2003278831(A1) 申请公布日期 2004.06.03
申请号 AU20030278831 申请日期 2003.09.17
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 GEORGE, G., I. MOORE;MICHAEL J. PARENT;PATRICIA M. SAVU;RICHARD M. FLYNN;ZHONGXING ZHANG;WILLIAM M. LAMANNA;ZAI-MING QIU
分类号 C09K13/08;H01L21/311;(IPC1-7):C09K13/04 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
主权项
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