| 发明名称 |
STRUKTUR MIT KAVITÄTEN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR SOLCH EINE STRUKTUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69532951(D1) |
申请公布日期 |
2004.06.03 |
| 申请号 |
DE1995632951 |
申请日期 |
1995.01.25 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS |
发明人 |
BRUEL, MICHEL |
| 分类号 |
H01L23/34;B81C1/00;H01L21/02;H01L21/48;H01L21/58;H01L23/473;(IPC1-7):H01L21/58;H01L21/473 |
主分类号 |
H01L23/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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