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发明名称
Verfahren zur Herstellung einer CMOS-Halbleitereinrichtung
摘要
申请公布号
DE4136406(B4)
申请公布日期
2004.06.03
申请号
DE19914136406
申请日期
1991.11.05
申请人
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO
发明人
SHIMIZU, MASAHIRO;MITSUI, KATSUYOSHI;YAMA, YOMIYUKI;YASUNAGA, MASATOSHI
分类号
H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L27/092;H01L21/823
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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