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发明名称 Vorrichtung zur Aufnahme von Substraten
摘要
申请公布号 DE10215283(B4) 申请公布日期 2004.06.03
申请号 DE20021015283 申请日期 2002.04.05
申请人 ASTEC HALBLEITERTECHNOLOGIE GMBH 发明人 NIESE, MATTHIAS;FRANZKE, JOERG;SCHWECKENDIEK, JUERGEN
分类号 B65G49/04;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/673;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;B65D85/30 主分类号 B65G49/04
代理机构 代理人
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