发明名称 |
COPPER CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SOLUTIONS USING SULFONATED AMPHIPROTIC AGENTS |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003288934(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.03 |
申请号 |
AU20030288934 |
申请日期 |
2003.10.29 |
申请人 |
ATOFINA CHEMICALS, INC. |
发明人 |
NICHOLAS, M. MARTYAK;GLENN CARROLL |
分类号 |
C09G1/04;C09K3/14;H01L21/321 |
主分类号 |
C09G1/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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