用于制造微型结构的方法

摘要

本发明提供了一种用于制造微镜致动器的方法，所述方法能够通过层叠膜形的有机层简化对微镜进的行平面化处理。所述方法包括通过刻蚀在衬底上形成沟槽，在衬底上叠加一层膜形有机层，从而盖住但是不填充沟槽，使得沟槽保持是空的，并在膜形有机层上淀积并成形一个金属层，以及除去所述膜形有机层。按照本发明的制造方法，通过在包括沟槽的衬底上层叠膜形有机层使得微镜更容易地实现平面化，因而可以降低制造微镜致动器的成本。此外，通过增加微镜的平面度，可以增加微镜的反射率，因而提高光传输效率。

主权项

1.一种用于制造微镜致动器的方法，包括：利用刻蚀在衬底上形成沟槽；在形成所述沟槽区域之后在衬底上通过淀积和成形绝缘层和金属层而形成下电极和侧电极；在衬底上叠加一层膜形有机层，使得盖住但是不填充所述沟槽，使得所述沟槽保持是空的；以及通过沉淀并成形在所述膜形有机层上的金属层和除去所述膜形有机层而形成微镜。