| 发明名称 |
High temperature specimen stage and detector for an environmental scanning electron microscope |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1003200(B1) |
申请公布日期 |
2004.06.02 |
| 申请号 |
EP19990204274 |
申请日期 |
1996.08.08 |
| 申请人 |
FEI CO |
发明人 |
KNOWLES RALPH W;HARDT THOMAS A |
| 分类号 |
H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
