| 发明名称 | 干燥装置和具备此干燥装置的工件处理单元 | ||
| 摘要 | 在一个干燥炉(51)内部容纳上下多层热板(52)。在干燥炉(51)前面，靠近上下多层热板(52)开设常开式工件出入口(51a)。另外，在干燥炉(51)后面设置外罩箱(53)，在该外罩箱(53)内部，通过靠近多层热板(52)之间的各个间隙里形成通气孔(54a)的分流板连通于炉内空间的排气机构来划分强制排气的排气室(55)。利用这样的干燥装置，可以同时有效干燥多个工件。 | ||
| 申请公布号 | CN1501104A | 申请公布日期 | 2004.06.02 |
| 申请号 | CN200310102940.3 | 申请日期 | 2003.10.31 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 中村真一;山田善昭 |
| 分类号 | G02B5/20;G02F1/1335 | 主分类号 | G02B5/20 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1、一种干燥装置，具备上下多层容纳放置板状工件的热板所组成的干燥炉，其特征在于：在上述的干燥炉前面，开设靠近上述多层热板的常开放工件出入口，同时，在上述干燥炉后面设置外罩箱，在这个外罩箱内，借助于靠近上述多层热板之间的各间隙上形成通气孔的分流板来连通上述干燥炉的炉内空间的排气机构来划分强制排气的排气室。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||