具有晶片映射功能的晶片处理设备

摘要

本发明涉及具有晶片映射功能的晶片处理设备。如果在容器中支架的每一个搁板上放置多个晶片，在处理工艺中将出现一些问题。另外，在某些检测晶片的设备中，速度不是高度稳定的驱动装置，例如气动气缸用来移动传感器，以便简化结构。在用这种驱动装置移动传感器进行检测的情况下，误差变大，并且难以精确地检测晶片。本发明提供了具有透射晶片检测传感器、具有分度装置的挡块和用于挡块的透射传感器的晶片处理设备。晶片处理设备计算来自透射晶片检测传感器的信号的持续时间与来自用于挡块的透射传感器的对应于分度装置的信号的持续时间的比值，并将比值与预先设定的阈值进行比较，以确定晶片的数量。

主权项

1.一种适于检测在容器中提供的具有放置晶片的搁板的支架的每个搁板上的晶片的晶片处理设备，该晶片处理设备包括：能够被驱动装置沿所述支架的搁板移动的移动装置；能够被所述移动装置沿所述支架的搁板移动的第一透射传感器，它包括彼此相对设置的第一发射器和第一检测器，所述第一发射器和所述第一检测器以如下方式安置：当所述第一透射传感器沿支架的搁板移动时，在支架的搁板上有晶片的情况下，从所述第一发射器向所述第一检测器发出的光被晶片挡住，而在搁板上没有晶片的情况下，从所述第一发射器发出的光能够传到所述第一检测器；第二透射传感器，它包括第二发射器和与所述第二发射器相对的第二检测器，所述第二透射传感器能够由所述移动装置沿所述支架的搁板移动；设置在所述第二发射器和所述第二检测器之间的挡块，它具有当所述第二透射传感器沿所述支架的搁板移动时能够通过或挡住从所述第二发射器向所述第二检测器发射的光的分度装置；以及计算装置，它将通过计算来自对应于晶片的所述第一透射传感器的第一信号的持续时间和来自对应于所述分度装置的所述第二传感器的第二信号的持续时间的比得到的晶片厚度与预先根据晶片厚度和晶片数量设置的阈值进行比较，以确定放在支架的搁板上的晶片的数量。