| 发明名称 | 衍射光学元件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种提高角度性能的多层式衍射光学元件。衍射光学元件包括第一衍射元件(6)和由不同于第一衍射元件(6)材料制成的第二衍射元件(7)，并且第二衍射元件(7)粘结于第一衍射元件(6)，在粘接表面处形成一衍射光栅(1)。一遮光薄膜(5a)形成在该衍射光栅(1)的槽的壁表面(3)上。 | ||
| 申请公布号 | CN1501103A | 申请公布日期 | 2004.06.02 |
| 申请号 | CN03160116.2 | 申请日期 | 2003.09.26 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 常世田义文;铃木宪三郎 |
| 分类号 | G02B5/18;B32B27/00 | 主分类号 | G02B5/18 |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 武玉琴;顾红霞 |
| 主权项 | 1.一种衍射光学元件，包括：第一衍射元件，第二衍射元件，由不同于第一衍射元件的材料制成并与第一衍射元件粘结在一起，和形成在该粘结表面上的一衍射光栅，其中，一遮光罩形成在该衍射光栅每个槽的壁表面上。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||