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发明名称 Thermal processing apparatus
摘要
申请公布号 EP0867916(B1) 申请公布日期 2004.06.02
申请号 EP19980301618 申请日期 1998.03.05
申请人 ASML US, INC. 发明人 KOWALSKI, JEFFREY M.;RATLIFF, CHISTOPHER T.;KOBLE, TERRY A.;PACK, JON H.;YANG, MICHAEL H.
分类号 B01J19/00;H01L21/00;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/00;F27B17/00;C23C16/46;C30B31/12 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
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