度量程序之自动产生

摘要

说明一种制造程序之自动量度程序建立方法，其中，使用设计资料库界定欲构制于装置上之图案。处理设计资料库，以产生一特色之模拟影像，供量度工具用以量度该特色。模拟影像供应至量度工具，在此用作量度工具对齐之基础。其他程序资料与模拟影像合并，以提全自动量度建立程序。