避免产生弧光效应之形成开口的方法

摘要

本发明提供一种避免产生弧光效应之形成开口的方法，首先，提供一基底，将基底放置于一蚀刻处理室；接着，对基底表面进行电浆处理，以中和基底表面电性成为电中性或带正电性；然后，对基底进行非等向性蚀刻，以在基底上形成开口。