微镜元件之制造方法

摘要

一种微镜(MicroMirror)元件之制造方法，其系在基材上先涂布一层牺牲光阻层，再对此牺牲光阻层进行紫外光(Ultraviolet；UV)照射处理，而使牺牲光阻层拱起于基材表面而成半球状。接着，于半球状之牺牲光阻层上覆盖金属层，即可形成凸面镜。此外，亦可在金属层形成后，去除部分之基材，并去除牺牲光阻层，即可使金属层同时具有凹面镜(Convexmirror)与凸面镜(ConcaveMirror)的功能。