| 主权项 |
1.一种有机发光二极体蒸镀机台,包括:一传送室;至少一个有机蒸镀室,连接至该传送室,该有机蒸镀室内装设有至少一个遮罩,用以蒸镀有机材料至基板上;以及一遮罩清理室,系连接至该传送室,于进行有机蒸镀后,该遮罩系经由该传送室传送至该遮罩清理室进行电浆清理。2.如申请专利范围第1项之有机发光二极体蒸镀机台,更包括一基板载入取出室,连接至该传送室,用以在不破坏该有机发光二极体蒸镀机台真空度之情况下,载入或取出该基板。3.如申请专利范围第1项之有机发光二极体蒸镀机台,更包括至少一个金属蒸镀室,连接至该传送室,用以蒸镀金属及无机盐类材料至该基板上。4.如申请专利范围第1项之有机发光二极体蒸镀机台,其中之传送室系利用一机械手臂传递该遮罩。5.如申请专利范围第1项之有机发光二极体蒸镀机台,更包括一前处理室,连接至该传送室,用以在蒸镀之前,对该基板表面进行电浆清理。6.如申请专利范围第1项之有机发光二极体蒸镀机台,更包括一封装室,连接至该传送室,用以在完成蒸镀之后,对该基板进行封合。7.一种有机发光二极体蒸镀机台,包括:一传送室;一基板载入取出室,连接至该传送室,用以在不破坏该有机发光二极体蒸镀机台真空度之情况下,载入或取出该基板;至少一个金属蒸镀室,连接至该传送室,用以蒸镀金属及无机盐类材料至该基板上;一前处理室,连接至该传送室,用以在蒸镀之前,对该基板表面进行电浆清理;一封装室,连接至该传送室,用以在完成蒸镀之后,对该基板进行封合;至少一个有机蒸镀室,连接至该传送室,该有机蒸镀室内装设有至少一个遮罩,用以蒸镀有机材料至基板上;以及一遮罩清理室,系连接至该传送室,于进行有机蒸镀后,该遮罩系经由该传送室传送至该遮罩清理室进行电浆清理。8.如申请专利范围第7项之有机发光二极体蒸镀机台,其中之传送室系利用一机械手臂传递该遮罩。图式简单说明:第一A,B与C图系利用蒸着光罩法进行有机发光层选择性薄膜成长之示意图。第二图系一传统有机发光二极体蒸镀机台之示意图。第三图系遮罩因有机发光材料蒸镀产生开孔阻塞之示意图。第四图系遮罩因微粒附着而导致有机发光薄膜产生缺陷之示意图。第五图系本发明有机发光二极体蒸镀机台一较佳实施例之示意图。 |
