一种有机发光二极体面板的制作流程

摘要

本发明乃针对有机发光二极体面板的制作流程中的荫罩(shadow mask)清洁来着手，在制程中插入电浆乾式清洁步骤，此乃由于电浆本身就具有清洁的功能，所以提出分别于蒸镀前和个别颜色的有机膜蒸镀后，利用电浆对荫罩进行电浆清洁。其优点是可在短时间内完成荫罩的清洗，确保制程可靠度及产品良率。以电浆现场清洗荫罩不但可以大幅降低微颗粒的吸附现象，以及其所造成之重复缺陷，并可以降低暗点发生之机率，同时也可以降低荫罩的孔洞被阻塞之现象。伍、(一)、本案代表图为：第5图(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明：本申请案第五图为流程示意图，并无符号标示。

主权项

1.一种有机发光二极体面板的制作流程,包含有:提供一透明基板,该基板上具有一透明电极层;透过一荫罩上之开孔以步进方式热蒸镀一第一有机电发光材料膜于该透明电极层上之第一位置;以及利用一电浆清洗该荫罩;及透过该经电浆清洗过之荫罩上之开孔以步进方式热蒸镀一第二有机电发光材料膜于该透明电极层上之第二位置。2.如申请专利范围第1项所述之制作流程,其中该透明基板为一玻璃基板。3.如申请专利范围第1项所述之制作流程,其中该电浆为氧气电浆或氮气电浆。4.如申请专利范围第1项所述之制作流程,其中该透明电极层为一ITO导电玻璃电极层。5.如申请专利范围第1项所述之制作流程,其中该第一及第二有机电发光材料膜分别为R/G/B三原色中之一者。6.如申请专利范围第1项所述之制作流程,其中该基板可为主动式阵列基板或被动式阵列基板者。7.如申请专利范围第1项所述之制作流程,其中热蒸镀该第二有机电发光材料膜于该透明电极层上之第二位置之后,该方法尚包含有:重复利用电浆清洗该荫罩。图式简单说明:图一为习知方法荫罩以步进方式进行红、蓝、绿三原色蒸镀之示意图。图二显示习知被动面板以荫罩进行红、蓝、绿三原色画素蒸镀之剖面示意图。图三为习知OLED面板的制造流程产生微颗粒吸附在荫罩上之示意图。图四为习知重复性缺陷在OLED两电极之间变成一导通路径之示意图。图五为本发明有机发光二极体面板的制作流程图。